Inficon Квантус ХП100 Україна

Ми будемо раді надіслати коммерційну пропозицію, якщо Ви заповните контактну форму нижче або надішлете нам електронний лист зі своїм запитом.

img

Газовий аналізатор INFICON Quantus HP100 заснований на технології самоплазмової оптичної емісійної спектроскопії (SPOES) і призначений для виявлення витоків в режимі реального часу, виявлення кінцевих точок та моніторингу процесів під час виготовлення напівпровідників. Quantus HP100 має чудову чутливість, компактний форм-фактор та пропонує широкий діапазон робочого тиску без дорогих насосів, що робить його добре придатним для моніторингу та захисту процесів у більшості напівпровідникових інструментів.

Робочий діапазон 1 Torr - 450 Torr для аргону та 1 Torr - 120 Torr для азоту (залежить від інших видів газу)
Низькі межі виявлення < Про

<1 ppm>
ста установка за допомогою стандартного підключення KF25
Швидка дискретизація (максимум 20 Гц)
Невелика площа (В x Ш x Д): 6,4 x 6,0 x 8,3 дюйма [162 x 153 x 210 мм]
Низький рівень обслуговування, не потрібні насоси та витратні матеріали З
ручна польова експертна підтримка для вашого конкретного процесу

HP100