Транспектор CPM 3
алізатор залишкового газу для ALD, Etch, CVD та 300 мм Degas - забезпечує моніторинг та аналіз процесів у режимі реального часу,
готова до ALD зі швидкістю
вимірювання 1,8 мс на точку (555 балів на секунду) Довічність та надійність у найвимогливіших програмах CVD та Etch Інтеграція додатків
Transpector CPM стає потужним інструментом моніторингу та діагностики процесів при інтеграції з програмним забезпеченням FabGuard та підтримується експертами світових додатків INFICON Компактний розмір - дозволяє легко інтегрувати виробництво
напівпровідникове обладнання
Hexblock™ з трьома входами тиску та зменшеною площею поверхні для мінімізації поверхневих реакцій та часу відгуку Конденсаторний мембранний датчик (CDG) —CDG дозволяє користувачеві контролювати технологічний тиск та автоматично захищати систему від попередніх відхилень Автомати
зоване калібрування - забезпечує довгострокову стабільність даних та точність для узгодження датчика до датчика та інструменту та
| Виробник | Inficon |
|---|---|
| Країна | |
| Номер частини | 300 AMU CPM |
