Транспектор APX багатотискний
Ми будемо раді надіслати коммерційну пропозицію, якщо Ви заповните контактну форму нижче або надішлете нам електронний лист зі своїм запитом.
INFICON Transpector APX залишається провідним на ринку аналізатором залишкового газу (RGA) для моніторингу напівпровідникових та дисплейних процесів. INFICON знає, що споживачі напівпровідників та дисплеїв мають унікальні потреби, а остання версія Transpector APX дозволяє забезпечити більшу гнучкість для задоволення конкретних вимог застосування, зберігаючи при цьому провідну в галузі швидкість та чутливість вимірювання. Transpector APX є ідеальним технологічним монітором RGA для напівпровідникових процесів, таких як ALD, CVD, PVD та Etch.
Конструкція платформи для застосування для найдовшого терміну служби на вашому процесі ALD або CVD для найкращого захисту пластин та панелей та оптимізації процесів
ALD готовий із швидкістю вимірювання понад 550 точок передачі даних в секун
ду Зменшення виробничого простору на 30% та спрощення встановлення завдяки високопродуктивній насосній системі Кон
фігуруваний HexBlock™ з фірмовим покриттям INFICON з трьома впускними отворами тиску, що витримує жорстку корозійну хімію
